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南臺科技大學106學年度第1學期課程資訊
課程代碼 10D14701
課程中文名稱 電子顯微鏡分析技術
課程英文名稱 Techniques of Electron Microscopy Analysis
學分數 3.0
必選修 選修
開課班級 四技自控三甲,四技自控三乙,四技奈米三甲,四技奈米三乙
任課教師 吳忠春
上課教室(時間)
週一 第7節 (K007)
週一 第8節 (K007)
週一 第9節 (K007)
課程時數 3
實習時數 0
授課語言 1.華語
輔導考證
課程概述 介紹材料分析的原理與技術,包括光學顯微鏡、電子顯微鏡、離子束顯微鏡、X光繞射及掃描探針技術等,讓選修本課程的同學都能了解材料分析技術的真諦。接下來再針對『電子顯微鏡』作深入的探討與介紹,了解電子顯微鏡的結構、原理、產業界實務應用領域及研發功能。
先修科目或預備能力 修過工程材料相關課程或具備材料相關概念的同學為佳
課程學習目標與核心能力之對應
編號中文課程學習目標英文課程學習目標對應系指標
1 能了解材料分析技術的種類,並了解材料分析內容與重點 The ability to understand the types of the material analyses technology, having different material analysis technology and manufacturing processes discriminating 1 工程知識
2 具備電子顯微鏡、能量散佈分析儀與材料分析相關技術與產業應用能力 Understand the basic techniques about the electron microscope and X-ray energy dispersive spectrometry, manufacturing technology and material analysis for industrial applications 1 工程知識
3 能具備精微加工製程與材料檢測從業人員之專業知識與態度 Possess professional knowledge and good attitudes of practitioners about micro/nano manufacturing technology and material analysis 3 實務技術
4 能瞭解材料分析製程設備的應用與分析檢測分析數據的能力 Understand the operation and application of equipments for material analyses techniques and ability to understand the data of material analysis and their application areas 4 設計整合
5 能瞭解微奈米製程與材料檢測分析專用之英文術語 Understand the English professional terms about advanced micro/nano manufacturing technology and material analysis 12 外語能力
就業力培養目標
  校指標 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
  專業知識 實務技能 資訊能力 整合創新 外語能力 熱誠抗壓 表達溝通 敬業合群 人文素養 服務關懷
  35% 25% 0% 15% 10% 5% 0% 0% 0% 10%
  系指標 1 2 3 9 4 12 6 10 11 5 13 7 8
  工程知識 設計實驗 實務技術 資訊能力 設計整合 外語能力 熱誠抗壓 口語表達溝通 書面表達溝通 溝通協調 人文藝術 社會關懷 職業倫理
  35% 5% 20% 0% 15% 10% 5% 0% 0% 0% 0% 5% 5%
中文課程大綱 第一章:材料分析技術簡介
※材料分析技術原理(依入射粒子束介紹)
※SEM掃描式電子顯微鏡介紹
※EDS成分分析儀介紹
※TEM穿透式電子顯微鏡簡介
第二章:電子顯微鏡在材料科學上的應用
第三章:電子顯微鏡之結構與其成像原理
第四章:掃描穿透式電子顯微鏡原理及實務應用
第五章:掃描式電子顯微鏡及應用實務
※H3000N電子顯微鏡操作說明
※H3000N掃描式電子顯微鏡實作示範操作
第六章:電子繞射原理及其應用
第七章:電子顯微鏡在電子材料方面之應用
第八章:影片教學
※電子顯微鏡基本原理
※薄膜技術與實務應用
第九章:專題演講
※掃描式電子顯微鏡原理與應用領域
※無塵室塵埃種類鑑定之實務應用
※掃描式電子顯微鏡在IC封裝業的實務應用
英/日文課程大綱 Chapter 1: Introduction to Technology of Materials Analyses
1-1 The Theory of Materials Analyses
1-2 Introduction to Scanning Electron Microscopy (SEM)
1-3 Introduction to Energy Dispersive X-ray Spectrometry (EDS)
1-4 Introduction to Transmission Electron Microscopy (TEM)
Chapter 2: The Applications of Electron Microscopy on Materials Science & Engineering
Chapter 3: The Construction and imaging theory of Electron Microscopy
Chapter 4: The analyses Technology and its Applications of Scanning Transmission Electron Microscopy
Chapter 5: The analyses Technology and its Applications of Scanning Electron Microscopy
5-1 Introduction to Hitachi H3000N Scanning Electron Microscopy
5-2 Demonstration and Practice of Hitachi H3000N Scanning Electron Microscopy
Chapter 6: Theory and Analyses of Electron Diffraction
Chapter 7 Applications of Electron Microscopy in Electronic Materials
Chapter 8 Films-aided Teaching
8-1 The Basic Introduction to Electron Microscopy
8-2 The Thin-Film Technology and its Applications
Chapter 9 Lectures in Special Topics
9-1 The Theory of SEM and its Applications
9-2 The Application of SEM in Identification of Dust in Cleaning Room
9-3 The Applications of SEM in IC-Packaging Industry
課程進度表 第1週~第4週:材料分析技術簡介,包括材料分析技術原理(依入射粒子束介紹),掃描式電子顯微鏡介紹,成分分析儀介紹及穿透式電子顯微鏡簡介
第5週:電子顯微鏡在材料科學上的應用
第6週至第7週:電子顯微鏡之結構與其成像原理
第8週:掃描穿透式電子顯微鏡原理及實務應用
第9週:期中考試
第10週至第14週掃描式電子顯微鏡及應用實務
※H3000N電子顯微鏡操作說明
※H3000N掃描式電子顯微鏡示範操作
※H3000N掃描式電子顯微鏡實作練習(需繳交實作報告)
第15週:電子繞射原理及其應用之簡介
第16週:專題演講(需繳交心得報告)
第17週:影片教學(需繳交心得報告)
第18週:期末考試
課程融入SDGs
期考調查
期中考(第9週)考試方式
期末考(第18週)考試方式
其他週考試考試週次與方式
教學方式與評量方式
課程學習目標教學方式評量方式
能了解材料分析技術的種類,並了解材料分析內容與重點
課堂講授  
筆試期中
筆試期末
具備電子顯微鏡、能量散佈分析儀與材料分析相關技術與產業應用能力
課堂講授  
專題演講  
參觀實習  
書面報告平時
筆試期中
筆試期末
能具備精微加工製程與材料檢測從業人員之專業知識與態度
課堂講授  
專題演講  
書面報告平時
筆試期末
能瞭解材料分析製程設備的應用與分析檢測分析數據的能力
課堂講授  
筆試期末
能瞭解微奈米製程與材料檢測分析專用之英文術語
課堂講授  
專題演講  
書面報告平時
筆試期中
筆試期末
指定用書
書名 材料電子顯微鏡學
作者 陳力俊等編著
書局 全華圖書股份有限公司
年份 2007
國際標準書號(ISBN) ISBN 957-00-4582-5
版本
請同學尊重智慧財產權,使用正版教科書,不得非法影印,以免觸犯智慧財產權相關法令
參考書籍 【1】『電子顯微鏡原理與應用』,楊永盛、楊慶宗編著,文京圖書公司。
【2】『近代穿透式電子顯微鏡實務』,鮑忠興與劉思謙等著,滄海書局代理。
【3】『The Principles and Practice of Electron Microscopy』,Ian M. Watt編著,歐亞書局代理。
【4】『Transmission Electron Microscopy of Materials』,G. Thomas and M.J. Goringe編著,John Wiley & Sons圖書公司。
【5】『Hitachi 3000N掃描式電子顯微鏡操作手冊』,益弘儀器公司。
教學軟體 (1)http://flip.stust.edu.tw 南台科技大學My數位學習平台系統 (2)教育部教學影片欣賞(需繳交心得報告)
課程規範 【1】請準時出席,出席紀錄列為平時成績的一部分,常缺課未到會影響平時成績。
【2】需利用課餘時間進行實作練習,無法撥出時間者請勿選修本課程。
【3】本課程將進行SEM上機實作訓練,需繳交一份實作心得報告。未參加分組實作觀摩的同學且未繳交心得書面報告者,本課程不會及格,特此公告。
【4】本課程將安排業界專家專題演講,請務必出席參加(有其他課程可以請公假),無法配合的同學請退選本課程,把選修本課程的機會讓給其他同學,感謝大家。
【5】本課程上課期間請同學準時到達教室上課,上課期間個人行動電話請設定為震動靜音功能,同時收起來不要放置在桌面上,以免影響老師上課與同學的權益。手機發出聲響者,將會適度扣其平時分數的成績。