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南臺科技大學106學年度第1學期課程資訊
課程代碼 10M08001
課程中文名稱 薄膜材料
課程英文名稱 Thin film materials
學分數 3.0
必選修 選修
開課班級 碩研機械一甲
任課教師 林克默,許藝菊
上課教室(時間)
週一 第1節 (E0406)
週一 第2節 (E0406)
週一 第3節 (E0406)
課程時數 3
實習時數 0
授課語言 1.華語
輔導考證
課程概述 一為深入介紹薄膜材料的重要基礎觀念,晶體構造,對稱理論及缺陷;二是介紹薄膜太陽能電池材料,並說明薄膜生長機制、光電性質和檢測方法。
先修科目或預備能力
課程學習目標與核心能力之對應
編號中文課程學習目標英文課程學習目標
1 能具有各種工程材料之基本觀念
2 能具備薄膜材料設計與應用技術
3 能具備薄膜材料特性檢測技術
4 能具備各種薄膜檢測與分析能力
就業力培養目標 此門課程無設定權重值
中文課程大綱 第1章 晶體模型
第2章 點陣、點群、空間群及對稱
第3章 晶體構造
第4章 晶體缺陷
第5章 太陽光電原理
第6章 非晶矽薄膜太陽能電池
第7章 多晶矽薄膜太陽能電池
第8章 CdTe薄膜太陽能電池
第9章 CIGS薄膜太陽能電池
第10章 薄膜材料檢測技術
英/日文課程大綱 1. Crystal models
2. Space group and symmetry
3. Crystal structures
4. Defects in crystal
5. Photovoltaic principles
6. Thin film amorphous silicon solar cells
7. Thin film polycrystalline silicon solar cells
8. Thin film CdTe solar cells
9. Thin film CIGS solar cells
10. Characterization of thin films
課程進度表 1. 課程介紹
2. 真空技術
3. 薄膜基本觀念、製程和應用
4. 真空蒸鍍
5. 濺鍍
6. 化學氣相沉積
7. 薄膜檢測技術-1
8. 薄膜檢測技術-2
9. 期中報告
10. 半導體薄膜
11. 光學與透明導電膜
12. SE分析-1
13. SE分析-2
14. SE分析-3
15. 口頭報告-1
16. 口頭報告-2
17. 口頭報告-3
18. SE上機實作
課程融入SDGs
期考調查
期中考(第9週)考試方式
期末考(第18週)考試方式
其他週考試考試週次與方式
教學方式與評量方式
課程學習目標教學方式評量方式
能具有各種工程材料之基本觀念
課堂講授  
口頭報告平時
書面報告期中
能具備薄膜材料設計與應用技術
課堂講授  
口頭報告平時
書面報告期中
能具備薄膜材料特性檢測技術
課堂講授  
實作演練  
書面報告期末
實作期末
能具備各種薄膜檢測與分析能力
課堂講授  
書面報告期末
指定用書
書名 薄膜工程學
作者 王建義譯
書局 全華
年份 2014
國際標準書號(ISBN) 9789572192764
版本 2
請同學尊重智慧財產權,使用正版教科書,不得非法影印,以免觸犯智慧財產權相關法令
參考書籍 James Hilfiker, Short cource: Spectroscopic Ellipsometry, 2008, J. A. Woollam Co.Inc.
Hiroyuki Fujiwara, Spectroscopic Ellipsometry Principles and Applications, John Wiley & Sons, 2007
教學軟體
課程規範