| 課程代碼 |
L0D06301
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| 課程中文名稱 |
薄膜工程
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| 課程英文名稱 |
Thin Film Technology
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| 學分數 |
3.0
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| 必選修 |
選修
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| 開課班級 |
四技光電三甲,四技光電三乙
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| 任課教師 |
鄭錫恩
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| 選課人數 |
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| 上課教室(時間) |
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週四
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第5節
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(T0407)
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週四
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第6節
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(T0407)
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週四
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第7節
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(T0407)
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| 課程時數 |
3
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| 實習時數 |
0
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| 授課語言 |
1.華語
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| 輔導考證 |
無
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| 課程概述 |
本課程主要在建立學生對於薄膜工程技術的基礎認知，內容包括真空技術、物理氣相沉積法、化學氣相沉積法、磊晶技術等等技術的介紹，除了基礎原理之外，本課程亦提供產業資訊與技術的概況。
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| 先修科目或預備能力 |
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課程學習目標與核心能力之對應
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| 編號 | 中文課程學習目標 | 英文課程學習目標 | 對應系指標 |
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1
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可以具備薄膜工程的基礎知識及瞭解其在各種領域的應用
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Able to learn the basic engineering knowledge of thin films and know the applications of thin films in different fields.
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1 工程知識
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2
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可以瞭解薄膜製作的設備需求
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Able to learn equipments to manufacture thin films
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1 工程知識
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3
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可以瞭解薄膜特性與如何分析的能力
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Able to learn what to concern for properties of thin films and ways to analyze film properties
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1 工程知識
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4
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可以具備闡述薄膜如何製作與應用的能力
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Having ability to describe the processing and applications of thin films
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5 報告溝通
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| 就業力培養目標 |
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校指標 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
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專業知識 |
實務技能 |
資訊能力 |
整合創新 |
外語能力 |
熱誠抗壓 |
表達溝通 |
敬業合群 |
人文素養 |
服務關懷 |
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80% |
0% |
0% |
0% |
0% |
0% |
20% |
0% |
0% |
0% |
| |
系指標 |
1 |
2 |
4 |
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3 |
6 |
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7 |
5 |
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8 |
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工程知識 |
設計實驗 |
計畫評估 |
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整合創新與資訊能力 |
團隊合作與整合創新 |
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適應社會 |
報告溝通 |
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職業倫理 |
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80% |
0% |
0% |
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0% |
0% |
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0% |
20% |
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|
0% |
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| 中文課程大綱 |
ch1 薄膜工程技術之應用
ch2 真空技術
ch3 蒸鍍製程技術
ch4 濺鍍製程技術
ch5 化學氣相沉積技術
ch6 薄膜分析
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| 英/日文課程大綱 |
ch1 Introduction of Thin Film Technology
ch2 Vacuum Technology
ch3 Evaporation
ch4 Sputtering
ch5 Chemical Vapor Deposition
ch6 Characterization of Thin Film
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| 課程進度表 |
1. 薄膜應用簡介 9h
1.1半導體薄膜
1.2介電薄膜
1.3磁性薄膜
1.4硬膜
2. 薄膜製作技術
2.1 基本設備 9h
2.2 物理方法 9h
2.3 化學方法 9h
3. 薄膜性質測試
3.1 厚度 3h
3.2 成份 6h
3.3 物理性質 6h
3.3 化學性質 3h
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| 課程融入SDGs |
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| 期考調查 |
| 期中考(第9週)考試方式 |
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| 期末考(第18週)考試方式 |
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| 其他週考試考試週次與方式 |
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| 教學方式與評量方式 |
| 課程學習目標 | 教學方式 | 評量方式 |
| 可以具備薄膜工程的基礎知識及瞭解其在各種領域的應用 |
課堂講授
|
筆試
（
期中
）
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| 可以瞭解薄膜製作的設備需求 |
課堂講授
|
筆試
（
期中
）
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| 可以瞭解薄膜特性與如何分析的能力 |
課堂講授
|
筆試
（
期末
）
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| 可以具備闡述薄膜如何製作與應用的能力 |
課堂講授
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作業
（
平時
）
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| 指定用書 |
| 書名 |
薄膜工程學
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| 作者 |
吉田 貞史 等
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| 書局 |
全華圖書
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| 年份 |
2013
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| 國際標準書號(ISBN) |
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| 版本 |
二版
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請同學遵守智慧財產權觀念，使用正版教科書，不得不法影印、下載及散布，以免觸犯智慧財產權相關法令
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| 參考書籍 |
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| 教學軟體 |
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| 課程規範 |
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