| 課程代碼 |
L0D09M01
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| 課程中文名稱 |
光電材料檢測實務
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| 課程英文名稱 |
Practice in the Characterization of Optoelectronic Materials
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| 學分數 |
3.0
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| 必選修 |
選修
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| 開課班級 |
四技光電四甲,四技光電四乙
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| 任課教師 |
吳坤憲
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| 上課教室(時間) |
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週四
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第2節
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(W0602)
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週四
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第3節
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(W0602)
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週四
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第4節
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(W0602)
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| 課程時數 |
3
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| 實習時數 |
0
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| 授課語言 |
1.華語
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| 輔導考證 |
無
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| 課程概述 |
介紹光電材料的各種檢測方法、原理及其應用。
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| 先修科目或預備能力 |
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課程學習目標與核心能力之對應
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| 編號 | 中文課程學習目標 | 英文課程學習目標 | 對應系指標 |
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1
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認識常用的光電材料檢測設備之名稱、特性與規格。
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|
1 工程知識
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2
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了解常用光電材料檢測設備之工作原理。
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|
1 工程知識
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3
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知道重要的檢測設備相關之英文專有名詞。
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3 整合創新與資訊能力
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4
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能與同組同學協力完成課程中之報告。
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6 團隊合作與整合創新
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5
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能如期繳交老師所指派的作業。
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5 報告溝通
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| 就業力培養目標 |
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校指標 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
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專業知識 |
實務技能 |
資訊能力 |
整合創新 |
外語能力 |
熱誠抗壓 |
表達溝通 |
敬業合群 |
人文素養 |
服務關懷 |
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45% |
5% |
0% |
30% |
0% |
5% |
10% |
0% |
0% |
5% |
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系指標 |
1 |
2 |
4 |
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3 |
6 |
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7 |
5 |
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8 |
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工程知識 |
設計實驗 |
計畫評估 |
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整合創新與資訊能力 |
團隊合作與整合創新 |
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適應社會 |
報告溝通 |
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職業倫理 |
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40% |
5% |
5% |
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20% |
10% |
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5% |
10% |
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|
5% |
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| 中文課程大綱 |
(1)電阻率之檢測
1.Two-point versus four-point probe兩點探針與四點探針量測法量測材料電阻率之比較
2.任意形狀樣品的電阻率量測方法(Van der Pauw method)
3.非接觸式量測電阻率的方法 (Contactless methods)
4.非接觸式量測材料厚度的方法： (1)微分電容探針、(2)超音波。
(2)摻雜濃度之檢測
1.電容-電壓法量測材料之載子濃度。
2. Hall量測法量測材料之載子濃度。
3.二次離子質譜儀 (SIMS)量測材料之摻雜濃度。
4. 水銀探針法量測材料之載子濃度。
5. 電化學C-V量測法量測材料之載子濃度之縱深分佈。
(3) 材料表面形貌及粗糙度之檢測
1. 電子顯微鏡 (SEM)檢測材料的表面形貌。。
2. 原子力顯微鏡(AFM)來檢測材料的表面粗糙度。
(4)材料結構與缺陷之檢測
1.穿透式電子顯微鏡(TEM)觀察材料的結構與缺陷情況及元件結構中各層之厚度。
2.X光繞射分析儀(XRD) 來觀察材料的晶體結構。
(5)光學特性之檢測
1.介紹光激發光(PL) 之發光頻譜量測及分析方法。
2.介紹電激發光(EL) 之發光頻譜量測及分析方法。
3.介紹冷陰極發光(CL) 之發光頻譜量測及分析方法。
4.介紹並比較以PL、 EL 、CL三種量測法所得到的頻譜所代表之意義。
(6) 材料組成成分與鍵結之檢測
1.以歐傑電子分析儀(AES)作深度分析、微小區域分析及成分分析。
2.能量散佈光譜儀(EDS)鑑定材料的化學組成。
3.Ｘ射線光電子能譜儀(XPS；ESCA) 檢測電子的束縛能(Bonding energy)而得到材料的化學組成及其化學組態。
4.拉塞福背向散射分析儀(RBS)檢測樣品中元素的質量數、含量及深度分布。
5.利用傅氏轉換紅外線光譜(FTIR)來瞭解分子的結構。
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| 英/日文課程大綱 |
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| 課程進度表 |
第1~3週: 光電材料檢測概要
1. 電性量測: C-V；I-V等
2. 物性量測: SEM；TEM；AFM；XRD；AES；SIMS；ESCA；EDS；FTIR；PL；EL等
第4~5週: 電容-電壓量測 (Capacitance-Voltage Measurement)
1. P-N 接面
2. 金-半接面
3. 金-氧-半電容
第6~8週:電流-電壓量測(Current-Voltage Measurement)
1. 元件之電流-電壓特性曲線
2. 二極體之理想因數
3. 半導體材料之能隙
4. 金-半接面之蕭特基位障高
5. 金-氧-半場效電晶體之通道移動率及轉導
6. 金-氧-半場效電晶體之次臨界斜率
第9~18週:分組專題報告
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| 期考調查 |
| 期中考(第9週)考試方式 |
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| 期末考(第18週)考試方式 |
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| 其他週考試考試週次與方式 |
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| 教學方式與評量方式 |
| 課程學習目標 | 教學方式 | 評量方式 |
| 認識常用的光電材料檢測設備之名稱、特性與規格。 |
課堂講授
成果驗收
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口頭報告
（
期末
）
筆試
（
期中
）
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| 了解常用光電材料檢測設備之工作原理。 |
課堂講授
成果驗收
|
口頭報告
（
期末
）
筆試
（
期中
）
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| 知道重要的檢測設備相關之英文專有名詞。 |
課堂講授
成果驗收
|
口頭報告
（
期末
）
筆試
（
期中
）
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| 能與同組同學協力完成課程中之報告。 |
分組討論
成果驗收
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口頭報告
（
期末
）
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| 能如期繳交老師所指派的作業。 |
成果驗收
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作業
（
平時
）
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| 指定用書 |
| 書名 |
自編教材
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| 作者 |
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| 書局 |
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| 年份 |
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| 國際標準書號(ISBN) |
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| 版本 |
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請同學尊重智慧財產權，使用正版教科書，不得非法影印，以免觸犯智慧財產權相關法令
。 |
| 參考書籍 |
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| 教學軟體 |
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| 課程規範 |
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