| 課程代碼 |
Z6D00201
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| 課程中文名稱 |
無塵室技術應用
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| 課程英文名稱 |
Cleanroom Technology
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| 學分數 |
3.0
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| 必選修 |
選修
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| 開課班級 |
工學X學程三
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| 任課教師 |
魏慶華
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| 選課人數 |
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| 上課教室(時間) |
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週五
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第6節
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(K302)
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週五
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第7節
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(K302)
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週五
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第8節
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(K302)
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| 課程時數 |
3
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| 實習時數 |
0
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| 授課語言 |
1.華語
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| 輔導考證 |
無
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| 課程概述 |
使學生對於下述課程內容具備基本知識與能力
潔淨室簡介、潔淨室氣流運動、灰塵之來源與物性及濾除與檢測技術、半導體製程之潔淨室設計規劃、半導體製程之空氣供應系統、無塵衣之選擇
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| 先修科目或預備能力 |
最好有熱力學與流體力學的基礎
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課程學習目標與核心能力之對應
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| 編號 | 中文課程學習目標 | 英文課程學習目標 | 對應系指標 |
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1
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潔淨室簡介(潔淨室之演進，定義，等級，型態，規格)
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Introduction to Cleanroom (evolution, definition, classification, type, specifications of cleanroom)
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1 專業知識
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2
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潔淨室氣流運動
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Air Flow in Cleanroom
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1 專業知識
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3
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灰塵之來源與物性及濾除與檢測技術
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Origin of Particles, Filtration and Examination Technology
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1 專業知識
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4
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無塵室人員進出管理
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Management of Working People of Cleanroom
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2 實務技能
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5
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半導體製程之潔淨室設計規劃
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Layout and Design of Cleanroom for Semiconductor Manufacturing
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2 實務技能
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6
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半導體製程之空氣供應系統
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Air Handling System for Semiconductor Manufacturing Process
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2 實務技能
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7
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無塵衣選擇及清洗
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Clothing Selection and Cleaning for Cleanroom Worker
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2 實務技能
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| 就業力培養目標 |
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校指標 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
| |
專業知識 |
實務技能 |
資訊能力 |
整合創新 |
外語能力 |
熱誠抗壓 |
表達溝通 |
敬業合群 |
人文素養 |
服務關懷 |
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40% |
55% |
0% |
5% |
0% |
0% |
0% |
0% |
0% |
0% |
| |
系指標 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
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專業知識 |
實務技能 |
資訊能力 |
整合創新 |
外語能力 |
熱誠抗壓 |
表達溝通 |
敬業合群 |
人文素養 |
服務關懷 |
| |
40% |
55% |
0% |
5% |
0% |
0% |
0% |
0% |
0% |
0% |
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| 中文課程大綱 |
1.潔淨室簡介：潔淨室之演進、潔淨室之定義及等級分類與規格、潔淨室之型式
2.潔淨室氣流運動：污染物顆粒與氣流之關係、潔淨室內氣流之一般操作情況、氣流速度分析、障礙物對氣流之影響
3.灰塵之來源與物性及濾除與檢測技術：塵粒之物性與分佈特性、除塵方式介紹、空氣過濾器、空氣過濾器捕集塵粒之原理及其特性曲線、空氣過濾器捕集效率測定法、空氣過濾器壓力損失與空氣流量之關係、靜電式空氣過濾器、塵粒計數器之原理及選擇
4.半導體製程之潔淨室設計規劃：半導體製程之潔淨室構造與運轉系統介紹、震動與靜電及電磁波防制、潔淨室建造方式及材料
5.半導體製程之空氣供應系統：空調原理簡介、空調基礎計算原理、潔淨室空調需求特性、基本空調控制系統、外氣控制、最少外氣控制法、預熱與主加熱系統、冷卻盤管控制系統與冷卻除濕控制系統、增濕控制系統、整合型空氣供應系統
6.無塵衣之選擇：依靜電防制、穿著舒適與、污染物是否容易從無塵布料穿透否、材質的清潔度的分別評估
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| 英/日文課程大綱 |
1.Introduction to Cleanroom
2.Air Flow Characteristic Features in Cleanroom
3.Origin and Physical Properties of Contamination in Clearroom
4.Filtration of Contamination in Clearroom
5.Cleanroom Facilities in Semiconductor Industry
6.Air Handling System Design and Management in Clearroom
7.Selection of Working Clothes in Clearroom
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| 課程進度表 |
進度表
一、 潔淨室簡介（1~2週）
如何搜尋無塵室技術相關之資料，潔淨室之演進、潔淨室之定義及等級分類與規格、潔淨室之型式
二、 潔淨室氣流運動（3~4週）
污染物顆粒與氣流之關係、潔淨室內氣流之一般操作情況、氣流速度分析、障礙物對氣流之影響
三、 灰塵之來源與物性及濾除與檢測技術（5~6週）
塵粒之物性與分佈特性、除塵方式介紹、空氣過濾器、空氣過濾器捕集塵粒之原理及其特性曲線、空氣過濾器捕集效率測定法、空氣過濾器壓力損失與空氣流量之關係、靜電式空氣過濾器、塵粒計數器之原理及選擇
四、 無塵室人員進出管理（7~8週）
無塵室佈置、工作人員材料機器進出動線規劃
五、 期中考試（9週）
六、 半導體製程之潔淨室設計規劃（10~11週）
半導體製程之潔淨室構造與運轉系統介紹、震動與靜電及電磁波防制、潔淨室建造方式及材料
七、 半導體製程之空氣供應系統（12~16週）
空調原理簡介、空調基礎計算原理、潔淨室空調需求特性、基本空調控制系統、外氣控制、最少外氣控制法、預熱與主加熱系統、冷卻盤管控制系統與冷卻除濕控制系統、增濕控制系統、整合型空氣供應系統
八、 無塵衣選擇及清洗（17週）
依靜電防制、穿著舒適與、污染物是否容易從無塵布料穿透否、材質的清潔度的分別評估
九、 期末考試（18週）
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| 課程融入SDGs |
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| 期考調查 |
| 期中考(第9週)考試方式 |
筆試
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| 期末考(第18週)考試方式 |
筆試
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| 其他週考試考試週次與方式 |
作業
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| 教學方式與評量方式 |
| 課程學習目標 | 教學方式 | 評量方式 |
| 潔淨室簡介(潔淨室之演進，定義，等級，型態，規格) |
課堂講授
|
筆試
（
平時
）
筆試
（
期中
）
|
| 潔淨室氣流運動 |
課堂講授
|
筆試
（
期中
）
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| 灰塵之來源與物性及濾除與檢測技術 |
課堂講授
|
筆試
（
期中
）
|
| 無塵室人員進出管理 |
課堂講授
|
筆試
（
期末
）
|
| 半導體製程之潔淨室設計規劃 |
課堂講授
|
筆試
（
期末
）
|
| 半導體製程之空氣供應系統 |
課堂講授
|
筆試
（
期末
）
|
| 無塵衣選擇及清洗 |
課堂講授
|
筆試
（
期末
）
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| 指定用書 |
| 書名 |
無塵室技術設計測試與運轉(上課講義自印)
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| 作者 |
Whyte原著，王輔仁編譯
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| 書局 |
全華科技圖書公司
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| 年份 |
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| 國際標準書號(ISBN) |
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| 版本 |
|
請同學遵守智慧財產權觀念，使用正版教科書，不得不法影印、下載及散布，以免觸犯智慧財產權相關法令
。 |
| 參考書籍 |
[1]顏登通，“潔淨室設計與管理”，全華科技圖書公司，民國89年
[2]Whyte, W., “Cleanroom Design”, John Wiley & Sons, 1991, 2000（歐亞圖書公司代理）
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| 教學軟體 |
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| 課程規範 |
1.上課請往前坐(前方不應空位)
2.上課請參與討論
3.上課請勿聊天與玩手機
4. 上課請勿趴在桌上睡覺
◎最好有熱力學與流體力學的基礎
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