| 課程代碼 |
10D30601
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| 課程中文名稱 |
微機電製程技術簡介
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| 課程英文名稱 |
Micro Electro Mechnical System Process Technology
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| 學分數 |
3.0
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| 必選修 |
選修
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| 開課班級 |
四技自控三甲,四技自控三乙,四技車輛三甲,四技車輛三乙
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| 任課教師 |
李雨青
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| 上課教室(時間) |
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週一
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第4節
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(K402)
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週一
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第5節
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(K402)
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週一
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第6節
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(K402)
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| 課程時數 |
3
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| 實習時數 |
0
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| 授課語言 |
1.華語
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| 輔導考證 |
1.無
2.無
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| 課程概述 |
讓學生對於微機電技術有總體的概念，其市場應用與理論基礎的範圍，之後再細部解說微奈米加工製程的介紹。
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| 先修科目或預備能力 |
無
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課程學習目標與核心能力之對應
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| 編號 | 中文課程學習目標 | 英文課程學習目標 | 對應系指標 |
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1
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能具備微機電系統基本知識
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To be able to have a basic knowledge of Micro Electro-Mechanical Systems
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1 工程知識
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2
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能了解微機電系統實務所需的技術
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The technology required to understand Micro Electro-Mechanical Systems Practice
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2 設計實驗
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3
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能了解運用微機電系統的場合
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Understand the use of Micro Electro-Mechanical Systems occasions
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4 設計整合
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4
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能了解微機電系統造成的影響
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Understand the Micro Electro-Mechanical Systems impact
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1 工程知識
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| 就業力培養目標 |
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校指標 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
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專業知識 |
實務技能 |
資訊能力 |
整合創新 |
外語能力 |
熱誠抗壓 |
表達溝通 |
敬業合群 |
人文素養 |
服務關懷 |
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30% |
25% |
0% |
30% |
0% |
5% |
5% |
0% |
0% |
5% |
| |
系指標 |
1 |
2 |
3 |
9 |
4 |
12 |
6 |
10 |
11 |
5 |
13 |
7 |
8 |
| |
工程知識 |
設計實驗 |
實務技術 |
資訊能力 |
設計整合 |
外語能力 |
熱誠抗壓 |
口語表達溝通 |
書面表達溝通 |
溝通協調 |
人文藝術 |
社會關懷 |
職業倫理 |
| |
30% |
20% |
5% |
0% |
30% |
0% |
5% |
0% |
5% |
0% |
0% |
5% |
0% |
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| 中文課程大綱 |
1.微機電介紹
2.微機電之應用與市場
3.無塵室介紹
4.半導體之微機電製造
5.微影技術
6.薄膜沉積
7.濕蝕刻技術
8.乾蝕刻技術
9.特殊加工製程技術
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| 英/日文課程大綱 |
1. Introduction of MEMS
2. Introduction to MEMS Applications and Marketing
3. Introduction of Cleanroom
4. MEMS-Fabrication for Semiconductor
5. Lithography
6. Thin Film Deposition
7. Wet Etching Technology
8. Dry Etching Technology
9. LIGA Process
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| 課程進度表 |
第一週 ~ 第二週 微機電介紹
第三週 ~ 第四週 微機電之應用與市場
第五週 ~ 第六週 無塵室介紹
第七週 ~ 第八週 半導體之微機電製造
第九週 期中考
第十週 ~ 第十一週 微影技術
第十二週 ~ 第十三週 薄膜沉積
第十四週 ~ 第十五週 濕蝕刻技術
第十六週 ~ 第十七週 乾蝕刻技術
第十八週 期末報告
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| 課程融入SDGs |
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| 期考調查 |
| 期中考(第9週)考試方式 |
筆試
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| 期末考(第18週)考試方式 |
期末報告
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| 其他週考試考試週次與方式 |
作業
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| 教學方式與評量方式 |
| 課程學習目標 | 教學方式 | 評量方式 |
| 能具備微機電系統基本知識 |
課堂講授
分組討論
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口頭報告
（
期末
）
作業
（
平時
）
筆試
（
期中
）
|
| 能了解微機電系統實務所需的技術 |
課堂講授
分組討論
|
口頭報告
（
期末
）
作業
（
平時
）
作業
（
期中
）
|
| 能了解運用微機電系統的場合 |
課堂講授
|
作業
（
平時
）
|
| 能了解微機電系統造成的影響 |
課堂講授
|
作業
（
平時
）
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| 指定用書 |
| 書名 |
VLSI製造技術
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| 作者 |
莊達人
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| 書局 |
高立圖書
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| 年份 |
2019
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| 國際標準書號(ISBN) |
9789864123735
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| 版本 |
6
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請同學尊重智慧財產權，使用正版教科書，不得非法影印，以免觸犯智慧財產權相關法令
。 |
| 參考書籍 |
半導體製造程序，初版，前田和夫編著，魏聚嘉譯，高立圖書
認識微機電，初版，楊龍杰編著，滄海圖書
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| 教學軟體 |
無
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| 課程規範 |
1. 教學教材 : 講義
2. 評分方式：作業 40%, 期中考 30%, 期末報告與期末作業 30%
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