| 課程代碼 |
10D31001
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| 課程中文名稱 |
微奈米製程與材料分析
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| 課程英文名稱 |
Micro/Nano Manufacturing Processing and Materials Analyses
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| 學分數 |
3.0
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| 必選修 |
選修
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| 開課班級 |
四技自控四甲,四技自控四乙,四技奈米四甲,四技奈米四乙,四技車輛四甲,四技車輛四乙
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| 任課教師 |
王聖璋,吳忠春
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| 上課教室(時間) |
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週一
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第5節
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(W0507)
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週一
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第6節
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(W0507)
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週一
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第7節
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(W0507)
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| 課程時數 |
3
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| 實習時數 |
0
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| 授課語言 |
1.華語
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| 輔導考證 |
1.無
2.無
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| 課程概述 |
介紹各種微奈米製程技術以及產業上的應用，並介紹微奈米材料特性的分析工具，包含粒徑分析、微結構分析、相分析、與光譜分析等分析技術與其應用，並邀請四位產業界的專家蒞臨本校做專題演講與產業趨勢剖析，讓選修本課程同學了解微奈米製程技術在產業上的應用，並了解微奈米材料的材料特性與相關分析工具的原理與應用。
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| 先修科目或預備能力 |
無
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課程學習目標與核心能力之對應
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| 編號 | 中文課程學習目標 | 英文課程學習目標 | 對應系指標 |
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1
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能了解微奈米製程技術的種類，並了解材料分析內容
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The ability to understand the types of the micro/nano manufacturing technology and material analysis, having different analysis and manufacturing processes discriminating
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1 工程知識
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2
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具備維細加工、半導體製程與材料分析相關技術與產業應用能力
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Understand the basic techniques about the precision machining, manufacturing technology and material analysis for industrial applications
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1 工程知識
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3
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能具備精微加工製程與材料檢測從業人員之專業知識與態度
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Possess professional knowledge and good attitudes of practitioners about micro/nano manufacturing technology and material analysis
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3 實務技術
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4
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能瞭解微奈米製程設備的統合設計與製造組立技術
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Understand the design and assembly of equipments for micro/nano manufacturing techniques and material analysis and their application areas
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4 設計整合
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5
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能瞭解微奈米製程與材料檢測分析專用之英文術語
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Understand the English professional terms about advanced micro/nano manufacturing technology and material analysis
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12 外語能力
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| 就業力培養目標 |
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校指標 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
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專業知識 |
實務技能 |
資訊能力 |
整合創新 |
外語能力 |
熱誠抗壓 |
表達溝通 |
敬業合群 |
人文素養 |
服務關懷 |
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35% |
25% |
0% |
15% |
10% |
5% |
0% |
0% |
0% |
10% |
| |
系指標 |
1 |
2 |
3 |
9 |
4 |
12 |
6 |
10 |
11 |
5 |
13 |
7 |
8 |
| |
工程知識 |
設計實驗 |
實務技術 |
資訊能力 |
設計整合 |
外語能力 |
熱誠抗壓 |
口語表達溝通 |
書面表達溝通 |
溝通協調 |
人文藝術 |
社會關懷 |
職業倫理 |
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35% |
5% |
20% |
0% |
15% |
10% |
5% |
0% |
0% |
0% |
0% |
5% |
5% |
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| 中文課程大綱 |
1.微奈米製程技術的介紹
2.微奈米製程技術之應用與市場
3.半導體之微奈米製造技術
4.微影技術與薄膜沉積技術
5.特殊加工製程技術
6.微奈米材料簡介與產業上的實務應用
7.粒徑分析與成分分析技術
8.電子顯微鏡分析技術
9.繞射XRD分析技術簡介
10.掃描探針顯微技術的原理與應用
11.專題演講
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| 英/日文課程大綱 |
1. Introduction of Micro/Nano
2. Introduction to Micro/Nano Applications and Marketing
3. Micro/Nano-Fabrication for Semiconductor
4. Lithography Technology and Thin Film Deposition
5. Other Micro/Nano Fabrication Technology
6. Introduction to Micro/Nano Materials and their Industrial Applications
7. Particle Size Analysis and Composition Analysis
8. Electron Microscopy Characterization
9. Introduction to XRD Characterization
10. Theory of Scanning Probe Microscopy and Industrial Applications
11. Special Lectures in Micro/Nano Manufacturing Fabrication and Material Analyses
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| 課程進度表 |
第一週至第四週：材料分析技術介紹：包括材料分析的原理及種類作一介紹，並簡述材料分析領域最常使用的幾種儀器設備。
第五週至第八週：微奈米製程原理與產業應用：包括各種微奈米等級的製程技術及產業應用（包括邀請業界專家蒞臨本校專題演講）。
第九週：期中考試。
第十週至第十二週：掃描式電子顯微鏡的原理與產業應用（包含本系SEM/EDS實作上機操作的示範觀摩）。
第十三週至第十四週：分析式電子顯微鏡在微奈米材料分析之應用（包括邀請業界專家蒞臨本校專題演講）。
第十五週至第十七週：掃描探針顯微技術的原理與產業實務應用（包括邀請業界專家蒞臨本校專題演講）。
第十八週：期末考試。
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| 課程融入SDGs |
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| 期考調查 |
| 期中考(第9週)考試方式 |
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| 期末考(第18週)考試方式 |
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| 其他週考試考試週次與方式 |
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| 教學方式與評量方式 |
| 課程學習目標 | 教學方式 | 評量方式 |
| 能了解微奈米製程技術的種類，並了解材料分析內容 |
課堂講授
專題演講
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書面報告
（
平時
）
筆試
（
期中
）
筆試
（
期末
）
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| 具備維細加工、半導體製程與材料分析相關技術與產業應用能力 |
課堂講授
專題演講
|
書面報告
（
平時
）
筆試
（
期中
）
筆試
（
期末
）
|
| 能具備精微加工製程與材料檢測從業人員之專業知識與態度 |
課堂講授
專題演講
參觀實習
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書面報告
（
平時
）
筆試
（
期中
）
筆試
（
期末
）
|
| 能瞭解微奈米製程設備的統合設計與製造組立技術 |
課堂講授
專題演講
|
書面報告
（
平時
）
筆試
（
期中
）
筆試
（
期末
）
|
| 能瞭解微奈米製程與材料檢測分析專用之英文術語 |
課堂講授
|
筆試
（
期中
）
筆試
（
期末
）
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| 指定用書 |
| 書名 |
奈米材料科技原理與應用
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| 作者 |
馬振基主編
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| 書局 |
全華科技圖書股份有限公司
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| 年份 |
2007
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| 國際標準書號(ISBN) |
ISBN 957-21-4309-3
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| 版本 |
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請同學尊重智慧財產權，使用正版教科書，不得非法影印，以免觸犯智慧財產權相關法令
。 |
| 參考書籍 |
[1] 「奈米材料分析」，黃惠忠等編著，洪敏雄校閱，滄海書局，2004年。
[2] 「奈米技術與應用」，顧寧、付德剛及張海黔等編著，江禎立與許孟博等校閱，滄海書局，2003年。
[3] 「圖解奈米科技」，日文原著 川合知二監修，工業技術研究院發行。
[4] 「奈米材料與奈米結構」，張立德、牟季美等著，葉瑞銘修校，滄海書局，2002年。
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| 教學軟體 |
[1] 南台科技大學my數位學習網站 http://my.stut.edu.tw/
[2] 教育部教學影片『電子顯微鏡原理與應用』
[3] Discovery教學影片『奈米科技2002年版』
[4] 教育部教學影片『聚合物微結構之X光分析』
[5] 教育部教學影片『半導體材料微量分析技術』
[6] 教育部教學影片『半導體製程』
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| 課程規範 |
【1】本學期課程由吳忠春與王聖璋兩位老師合開本課程，吳忠春老師主要介紹材料分析部分，王聖璋老師補充微奈米製程及部分微奈米材料分析儀器與技術。
【2】使用電腦與單槍投影機教學之外，亦使用本校教學網站(my數位學習)系統及E-mail與同學進行問題溝通解答服務，同時利用本校教學網站(my數位學習)系統將上課大綱及習題解答上傳給同學下載參考，增加師生互動，並期望提昇同學學習興緻與成效。
【3】本課程會包含相當比率的專家專題演講或教學影片欣賞，撰寫心得報告為本課程平時分數的來源之一，請選修本課程的同學好好撰寫心得報告。
【4】請準時出席，出席紀錄列為平時成績的一部分，常常缺課未到會影響平時成績。
【5】本課程包含業界專家的專題演講，專題演講時間可能會使用到星期三下午7~8節，請同學要將這時段空出來參加專題演講，無法接受這個限制的同學請盡速退選，感謝你的配合。
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