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南臺科技大學109學年度第2學期課程資訊
課程代碼 L0D0B201
課程中文名稱 薄膜工程實務
課程英文名稱 Thin film project and application
學分數 2.0
必選修 選修
開課班級 四技光電三甲,四技光電三乙
任課教師 鄭錫恩
選課人數
上限60 目前已選人數45
上課教室(時間)
週四 第7節 (W0503)
週四 第8節 (W0503)
週四 第9節 (W0503)
課程時數 3
實習時數 0
授課語言 1.華語
輔導考證
課程概述 本課程主要在建立學生對於薄膜工程技術的基礎認知,內容包括真空技術、物理氣相沉積法、化學氣相沉積法、磊晶技術等等技術的介紹,除了基礎原理之外,本課程亦提供產業資訊與技術的概況。
先修科目或預備能力
課程學習目標與核心能力之對應
編號中文課程學習目標英文課程學習目標對應系指標
1 能了解薄膜工程技術的基本學理 1 工程知識
2 能了解薄膜工程技術的英文專業名詞 1 工程知識
3 能應用薄膜工程的基本學理於自身的研究領域 3 整合創新與資訊能力
4 能有效解析與呈現薄膜工程在光電產業的應用 3 整合創新與資訊能力
就業力培養目標
  校指標 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
  專業知識 實務技能 資訊能力 整合創新 外語能力 熱誠抗壓 表達溝通 敬業合群 人文素養 服務關懷
  50% 0% 0% 50% 0% 0% 0% 0% 0% 0%
  系指標 1 2 4 3 6 7 5 8
  工程知識 設計實驗 計畫評估 整合創新與資訊能力 團隊合作與整合創新 適應社會 報告溝通 職業倫理
  50% 0% 0% 50% 0% 0% 0% 0%
中文課程大綱 1. 薄膜工程技術簡介
2. 真空與真空系統
3. 蒸鍍技術
4. 化學氣相沉積
5. 濺鍍技術
6. 薄膜特性分析
英/日文課程大綱 1. Introduction to Thin Film technology
2. Vacuum and Vacuum System
3. Evaporation Technology
4. Chemical Vapor Deposition Technology
5. Sputter Deposition Technology
6. Characterization of thin film
課程進度表 1. 薄膜工程技術簡介 1 Week
2. 真空與真空系統 4 weeks
3. 蒸鍍技術 3 weeks
4. 濺鍍技術 3 weeks
5. 化學氣相沉積 3 weeks
6. 薄膜特性分析 4 weeks
課程融入SDGs
期考調查
期中考(第9週)考試方式 筆試
期末考(第18週)考試方式 筆試
其他週考試考試週次與方式 各章節作業
教學方式與評量方式
課程學習目標教學方式評量方式
能了解薄膜工程技術的基本學理
課堂講授  
作業平時
筆試期中
能了解薄膜工程技術的英文專業名詞
課堂講授  
筆試期中
能應用薄膜工程的基本學理於自身的研究領域
課堂講授  
筆試期末
能有效解析與呈現薄膜工程在光電產業的應用
課堂講授  
作業平時
指定用書
書名 表面與薄膜處理技術
作者 柯賢文
書局 全華圖書
年份 2012
國際標準書號(ISBN) 9789572184752
版本 三版
請同學遵守智慧財產權觀念,使用正版教科書,不得不法影印、下載及散布,以免觸犯智慧財產權相關法令
參考書籍
教學軟體
課程規範