| 課程代碼 |
L0M02B01
|
| 課程中文名稱 |
薄膜工程與應用
|
| 課程英文名稱 |
Thin film project and application
|
| 學分數 |
3.0
|
| 必選修 |
選修
|
| 開課班級 |
碩研光電一甲,碩研光電二甲
|
| 任課教師 |
鄭錫恩
|
| 選課人數 |
|
| 上課教室(時間) |
|
週二
|
第2節
|
(Q403)
|
|
週二
|
第3節
|
(Q403)
|
|
週二
|
第4節
|
(Q403)
|
|
| 課程時數 |
3
|
| 實習時數 |
0
|
| 授課語言 |
1.華語
|
| 輔導考證 |
無
|
| 課程概述 |
本課程主要在建立學生對於薄膜工程技術的基礎認知，內容包括真空技術、物理氣相沉積法、化學氣相沉積法、磊晶技術等等技術的介紹，除了基礎原理之外，本課程亦提供產業資訊與技術的概況。
|
| 先修科目或預備能力 |
|
|
課程學習目標與核心能力之對應
|
| 編號 | 中文課程學習目標 | 英文課程學習目標 |
|
1
|
能了解薄膜工程技術的基本學理
|
|
|
2
|
能了解薄膜工程技術的英文專業名詞
|
|
|
3
|
能應用薄膜工程的基本學理於自身的研究領域
|
|
|
4
|
能有效解析與呈現薄膜工程在光電產業的應用
|
|
|
| 就業力培養目標 |
此門課程無設定權重值
|
| 中文課程大綱 |
1. 薄膜工程技術簡介
2. 真空與真空系統
3. 蒸鍍技術
4. 化學氣相沉積
5. 濺鍍技術
6. 薄膜特性分析
|
| 英/日文課程大綱 |
1. Introduction to Thin Film technology
2. Vacuum and Vacuum System
3. Evaporation Technology
4. Chemical Vapor Deposition Technology
5. Sputter Deposition Technology
6. Characterization of thin film
|
| 課程進度表 |
1. 薄膜應用簡介 9h
1.1半導體薄膜
1.2介電薄膜
1.3磁性薄膜
1.4硬膜
2. 薄膜製作技術
2.1 基本設備 9h
2.2 物理方法 9h
2.3 化學方法 9h
3. 薄膜性質測試
3.1 厚度 3h
3.2 成份 6h
3.3 物理性質 6h
3.3 化學性質 3h
|
| 課程融入SDGs |
|
| 期考調查 |
| 期中考(第9週)考試方式 |
筆試
|
| 期末考(第18週)考試方式 |
筆試
|
| 其他週考試考試週次與方式 |
作業及報告
|
|
| 教學方式與評量方式 |
| 課程學習目標 | 教學方式 | 評量方式 |
| 能了解薄膜工程技術的基本學理 |
課堂講授
|
作業
（
平時
）
筆試
（
期中
）
|
| 能了解薄膜工程技術的英文專業名詞 |
課堂講授
|
筆試
（
期中
）
|
| 能應用薄膜工程的基本學理於自身的研究領域 |
課堂講授
|
書面報告
（
期末
）
|
| 能有效解析與呈現薄膜工程在光電產業的應用 |
課堂講授
|
書面報告
（
期末
）
|
|
| 指定用書 |
| 書名 |
表面與薄膜處理技術
|
| 作者 |
柯賢文
|
| 書局 |
全華圖書
|
| 年份 |
2012
|
| 國際標準書號(ISBN) |
|
| 版本 |
三版
|
請同學遵守智慧財產權觀念，使用正版教科書，不得不法影印、下載及散布，以免觸犯智慧財產權相關法令
。 |
| 參考書籍 |
|
| 教學軟體 |
|
| 課程規範 |
|