| 課程代碼 |
Z6D00401
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| 課程中文名稱 |
薄膜製程技術
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| 課程英文名稱 |
Thin film materials technology
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| 學分數 |
3.0
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| 必選修 |
選修
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| 開課班級 |
工學X學程三
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| 任課教師 |
林克默
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| 上課教室(時間) |
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週五
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第1節
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(K302)
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週五
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第2節
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(K302)
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週五
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第3節
|
(K302)
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| 課程時數 |
3
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| 實習時數 |
0
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| 授課語言 |
1.華語
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| 輔導考證 |
無
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| 課程概述 |
本課程主要有兩部分：一為深入介紹薄膜工程的重要觀念，矽膜、透明導電膜、薄膜成長機制、濺鍍原理及真空技術；二是介紹薄膜材料檢測技術，如光學量測、霍爾量測和橢圓儀等方法。
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| 先修科目或預備能力 |
最好有工程材料的基礎
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課程學習目標與核心能力之對應
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| 編號 | 中文課程學習目標 | 英文課程學習目標 | 對應系指標 |
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1
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能具備薄膜工程之基本觀念
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be able to understand the basic concept of film engineering
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1 專業知識
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2
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能了解薄膜的製造技術
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be able to have knowledge about deposition technologies
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1 專業知識
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3
|
能具備執行薄膜材料特性檢測技術
|
be able to characterize the physical properties of thin films
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2 實務技能
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4
|
能具備薄膜特性分析能力
|
be able to analyze the physical properties of thin films
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4 整合創新
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| 就業力培養目標 |
| |
校指標 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
| |
專業知識 |
實務技能 |
資訊能力 |
整合創新 |
外語能力 |
熱誠抗壓 |
表達溝通 |
敬業合群 |
人文素養 |
服務關懷 |
| |
50% |
30% |
5% |
10% |
5% |
0% |
0% |
0% |
0% |
0% |
| |
系指標 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
| |
專業知識 |
實務技能 |
資訊能力 |
整合創新 |
外語能力 |
熱誠抗壓 |
表達溝通 |
敬業合群 |
人文素養 |
服務關懷 |
| |
50% |
30% |
5% |
10% |
5% |
0% |
0% |
0% |
0% |
0% |
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| 中文課程大綱 |
1.真空技術
2.薄膜工程基本觀念
3.真空蒸鍍、濺鍍、CVD
4.透明導電膜和矽材料介紹
5.光學量測技術
6.電性量測技術
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| 英/日文課程大綱 |
1.Vacuum technology
2.Basic concept of deposition engineering
3.Vacuum evaporation, sputtering, CVD
4.Introduction of transparent conductive film and Silicon material
5.Optical measurement technology
6.Electrical measurement technology
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| 課程進度表 |
1. 課程介紹/分組
2. SE-01
3. SE-02
4. SE-03
5. SE-04
6. 放假(兒童節)
7. TCO-01
8. TCO-02
9. SE上機考試
10. 真空技術
11. 薄膜成長+濺鍍技術
12. 光學檢測技術
13. 激光檢測技術
14. 晶體構造+XRD
15. 製程監控技術(口頭報告)
16. 濺鍍製程實作-01
17. 端午節(調整放假) (6/20補課，濺鍍製程實作-02)
18. 期末口頭和書面報告
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| 課程融入SDGs |
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| 期考調查 |
| 期中考(第9週)考試方式 |
上機考試
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| 期末考(第18週)考試方式 |
報告
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| 其他週考試考試週次與方式 |
無
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| 教學方式與評量方式 |
| 課程學習目標 | 教學方式 | 評量方式 |
| 能具備薄膜工程之基本觀念 |
課堂講授
|
口頭報告
（
期末
）
書面報告
（
期末
）
|
| 能了解薄膜的製造技術 |
課堂講授
實作演練
|
口頭報告
（
期末
）
書面報告
（
期末
）
實作
（
平時
）
|
| 能具備執行薄膜材料特性檢測技術 |
課堂講授
實作演練
|
口頭報告
（
期末
）
書面報告
（
期末
）
實作
（
期中
）
|
| 能具備薄膜特性分析能力 |
課堂講授
實作演練
|
口頭報告
（
期末
）
書面報告
（
期末
）
實作
（
平時
）
實作
（
期中
）
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| 指定用書 |
| 書名 |
自編講義
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| 作者 |
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| 書局 |
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| 年份 |
|
| 國際標準書號(ISBN) |
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| 版本 |
|
請同學尊重智慧財產權，使用正版教科書，不得非法影印，以免觸犯智慧財產權相關法令
。 |
| 參考書籍 |
Milton Ohring，Materials science of thin films，歐亞，2004
Smith, Thin film deposition, McGraw-Hill, ISBN 0-07-116780-3
H. Fujiwara, Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications, John Wiley & Sons, 2007
Callister，材料科學與工程，陳俊生、張柳春、楊子毅、簡仁德譯，歐亞
Askeland，材料科學與工程，郭行健、張柳春譯，歐亞
Callister，工程材料，陳文照、曾春風、游信和 譯，高立，2009
Kittel，固態物理學導論，高立，2003
林聖賢等，固態化學基礎簡介(一)&(二)，滄海書局，2003
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| 教學軟體 |
無
|
| 課程規範 |
無
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